六月中旬，蓉城，华科院光电技术研究所，这里是华夏光刻机项目研发的主要科研单位之一。
“哈哈，财神爷到了，快里面请！”倪院士刚下车，罗所长热情的招呼道。
倪院士最近绝对称的上华科院的“福星”，仗着自己资格老，资金充沛，接连造访了春城光电精密机械研究所，沈城自动化研究所，江城物理研究所……
倪院士对每个研究所做过专门的功课，涉及到华夏的重大项目他不参与，一门心思的盯着缺少科研经费的研究所，在其中寻找适合与大秦科技合作研发的部门。
各个研究所只有两个选择，要么和大秦科技合作一起玩，要么人被带走，如今倪院士的恶名流传在整个华科院，华夏工程院的圈子里。
研究所方面相当无奈，打不得骂不得，不想合作倪院士就挖人，要是不想被挖人也好办，给那个部门充足的经费，一般人是不会放弃华科院的工作跟倪院士走的，关键是研究所没经费啊！研究经费充足的研究所倪院士也不去，就挑穷的欺负。
倪院士连忙回应：“罗所长，好几年没见了，身体还好吧？”
罗所长苦笑道：“本来挺好，知道你要来就不太好了，说说，看上谁了？”
倪院士满脸笑容，人老心不老的搓了搓手，“哪的话，合作，我是来合作的！一切为了华夏嘛，挖人像什么话。”
罗所长就差把鄙夷二字写在脸上了，心里暗叹：MD，有钱真好。
一群人进入会议室，罗所长率先开口，“开门见山吧，能来的研究组负责人都在这了，不能来的你也别惦记，规矩我就不多说了。”
倪院士笑道：“懂，绝对不让你为难，这次来主要是激光器输出功率，重复频率，曝光能量，离轴照明，相移掩模等十三个小项目的合作研发，罗所长，没问题吧。”
下面涉及到的人脸色激动，有钱啦，终于有钱啦。实话说，科研人员真的是旱的旱死，涝的涝死，缺少科研经费的科学家不在少数。
而大秦科技只要技术和专利，学术成果和论文是他们的，这可是为他们科研地位添砖加瓦的大好事。
光刻机的构造，一般分为：照明系统（光源+产生均匀光的光路），工作台系统，镜头组，搬送系统，校准系统。另外半导体光刻机的工作温度必须保持在23度，所以要保证晶圆在恒温和无尘的环境。
光刻机的原理就是用光来投射到工作台上产生衍射，然后镜头收集到光汇聚到晶圆上，形成图形，所以光是产生图形的必要条件。
准分子激光器扫描步进投影光刻机最关键的三项技术指标是：光刻分辨率、套刻精度和产能。
光刻分辨率和套刻精度这里先不表，提高产能则是光刻机实现产业化的必要条崛起科技之巅(快乐的小狗子)最新章节手机访问：https://m.xtxtaikan.com/wapbook66117/30581218/